1999年，國際標準化組織ISO頒布了潔凈室國際標準ISO14644-1《潔凈室與受控潔凈環(huán)境，第 一部分：空氣潔凈度分級》。ISO規(guī)定的潔凈度等級以及傳統(tǒng)分級的具體數(shù)值見下表2。
|
ISO14644
分級 |
濃度極限（顆粒數(shù)/m3） |
近似對應
傳統(tǒng)規(guī)格 |
|||||
|
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1.0μm |
5.0μm |
||
|
ISO 1級 |
10 |
2 |
|
|
|
|
|
|
ISO 2級 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|
|
|
|
ISO 3級 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
1級 |
|
ISO 4級 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
|
10級 |
|
ISO 5級 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
100級 |
|
ISO 6級 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
1,000級 |
|
ISO 7級 |
|
|
|
352,000 |
83,200 |
2,930 |
10,000級 |
|
ISO 8級 |
|
|
|
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
100,000級 |
|
ISO 9級 |
|
|
|
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
|
用公式表示上述指標：
Cn = 10N × (0.1/D)2.08
式中：Cn — 每立方米空間允許大于某粒徑顆粒物的數(shù)量濃度；
N — ISO潔凈度分級數(shù)；
D — 顆粒物尺度，單位為微米；
0.1 — 常數(shù)，單位為微米。
中國潔凈室標準新的修訂稿中采納了ISO分級。但是，人們已經(jīng)說慣了“百級”、“萬級”、，它順口、易記，今后一段時間內(nèi)，人們可能照舊說下去，直到新一代設計師們不再記得老的分級和英制計量單位。
說潔凈度應該對應潔凈室的狀態(tài)：空態(tài)（新建，空屋子），靜態(tài)（設備就位，無人員），動態(tài)（正常工作）。具體工程所說的“潔凈度”是指哪種狀態(tài)，要由用戶與設計、供貨等方面協(xié)議確定并明文規(guī)定。忘記對狀態(tài)做規(guī)定，大家都會有空子可鉆。
附：GMP規(guī)定的潔凈度
|
潔凈級別 |
塵粒最大允許數(shù) |
微生物最大允許數(shù) |
相當于
ISO分級 |
||
|
≥0.5μm |
5μm |
浮游菌/m3 |
沉降菌/皿 |
||
|
100級 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
ISO 5級 |
|
10,000級 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
ISO 7級 |
|
100,000級 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
ISO 8級 |
|
300,000級 |
10,000,000 |
60,000 |
|
15 |
|
